超高精度加工技術動向(2019年7月調査)

発刊日
2019/11/15
体裁
B5 / 25頁
資料コード
R61201302
PDFサイズ
2.2MB
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調査資料詳細データ

調査概要
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本調査レポートは、定期刊行物 Yano E plus 2019年8月号 に掲載されたものです。

リサーチ内容

~ナノメートルオーダーの加工を支えるのは、計測・評価・工具・材料などの要素技術と加工手法を合わせた技術の積み重ね!~

1.超高精度加工技術とは
2.超高精度加工技術を俯瞰する
  【図1.超高精度加工技術における研究スキームおよびキーワード】
3.超高精度加工技術の事例
 3-1.機械加工
 3-2.量子ビーム加工
 3-3.フォトリソグラフィー
4.精密加工装置の市場規模推移と予測
  【図・表1.精密加工装置の国内およびWW市場規模推移と予測(金額:2018-2022年予測)】
  【図・表2.精密加工装置の種類別国内市場規模推移と予測(金額:2018-2022年予測)】
5.超高精度加工技術に関連する企業・研究機関の取組動向
 5-1.株式会社エリオニクス
 5-2.株式会社エンプラス
 5-3.学校法人慶應義塾大学
  (1)超精密ナノ切削
  【図2.超精密ナノ切削の模式図】
  (2)超精密ナノ成形
  【図3.超精密ナノ成形の模式図】
  (3)レーザープロセッシング
  【図4.硬脆材料へ表面テクスチャリングした事例】
  (4)マイクロ放電加工
  【図5.焼結ダイヤモンドへのマイクロ放電加工の事例】
 5-4.国立大学法人埼玉大学
  【図6.レーザースライシング装置を模式的に示した図】
  【図7.レーザースライシングしたシリンドリカルガラスレンズ(左)加工前、(右)加工後】
 5-5.国立大学法人東京工業大学
  (1)金属と樹脂とを複合した高剛性・高減衰なパッシブダンパー
  (2)定力制御を可能としたボールバニシング工具の開発
 5-6.国立大学法人東京大学
  (1)精密加工・精密転写技術を組み合わせて、回転体型の高精度X線ミラーの製造技術を確立
  【図8.表面転写技術である電鋳により作製された超高精度ミラー】
  【図9.回転楕円ミラーによる軟X線集光システムの模式図】
  (2)複雑な形状を持つ高精度ミラーによりX線リング集光ビームを実現
  【図10.X線がリング状に集光される様子を示した模式図】
  (3)高精度な曲面ミラーで軟X線ナノメートル集光に成功
  【図11.ナノ精度表面創成システムの構築】
 5-7.国立大学法人山形大学
  【図12.ナノ微細転写形成の事例】
  【図13.微小円盤成形の事例】
  【図14.ナノコンポジット材料のマイクロ微細転写成形の事例】
  【図15.プラスチック製品の医療分野への応用事例(微細ニードルアレイをプラスチック表面に加工)】
  【図16.ナノスケールの高分子ロッドや繊維加工事例】
 5-8.ユナイテッド・プレシジョン・テクノロジーズ株式会社(UPT)
  (1)3Dエッチング技術
  (2)ハーフエッチング及び段彫り
  (3)大型エッチング
  (4)難削材料エッチング
6.超高精度加工技術の将来展望

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